電子無塵車間工程設計要求

電子無塵車間工程的設計，以芯片生產車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業工程無塵室（區）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產產品的影響，從而使環境達到電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

潔凈室（區）的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與**ISO標注接軌的中國**標準GB-50073，這類潔凈室（區）的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風速0.2-0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數50-60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數15-25次/h；8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數10-15次/h。

根據現行規范，電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)

1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

3.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的**大值。

4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5.保障供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。